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| 特徴 | |||
| ・張り合わせウエハーの内部を赤外線顕微鏡にセットした赤外線カメラで画像を撮影しソフトウエア処理にて欠陥部を検出します。 ・コントラストの低い画像を見やすくする処理（エフェクト処理）を使用して見つけにくい欠陥部を検出します。 |
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| 対応ウエハーサイズ | |||
| ４インチ、６インチ、８インチ | |||
| その他機能 | |||
| 自動アライメント機能、カセットtoカセット搭載可能 ロボットによる自動供給、搬出可能 |
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| 性能 | |||
| ・欠陥検出能力： | 約10μm |
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| ・検査時間： | 30分/ウエハー |
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| 各種機能を搭載可能 お問い合わせください。 |
